第103回パターン計測部会研究会で発表

第103回パターン計測部会研究会で発表

6月7日東京大学で行われた第103回パターン計測部会研究会で発表を行ってきました。

上田史織,栗原徹, “単結晶シリコン製造装置における晶癖線の部分検出,” 第103回パターン計測部会研究会, 東京大学, 6/7, 2019.

初めて学外で発表したということもあってとても緊張しましたが、何とか乗り越えることができました。
今回の発表を通して学んだことを次の機会に活かしていきたいと思います。

工学部6号館は栗原先生が学部2年間、修士2年間、博士3年間に助手9年間の16年間を過ごされた建物ということでした。
研究会終了後、ラボツアーが行われ東大で行われている最新の研究成果を見学・体験することができました。